10.22028/D291-24173
Silva, Marcelo A. P.
Nastaushev, Y.
Basmaji, P.
Rossi, J. C.
Aegerter, Michel A.
Geração de máscaras em escala nano e micrométrica por litografia eletrônica
Mask generation of nano and micrometric scale by electron litography
Universität des Saarlandes
1994
Elektronenstrahllithographie
Elektronenstrahl
Polymerfilm
Ätzen
Substrat <Chemie>
Substrat <Mikroelektronik>
500
Universität des Saarlandes
Universität des Saarlandes
2009-09-04
2017-07-12
2009-09-04
1994
other
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