{
"id": "https://doi.org/10.25445/sfedu.12948596",
"doi": "10.25445/SFEDU.12948596",
"url": "https://sfedu.figshare.com/articles/standard/___________-____________/12948596",
"types": {
"ris": "STAND",
"bibtex": "misc",
"citeproc": "article",
"schemaOrg": "CreativeWork",
"resourceType": "Standard",
"resourceTypeGeneral": "Other"
},
"creators": [
{
"name": "Татьяна Николаевна Мясоедова",
"affiliation": [],
"nameIdentifiers": []
},
{
"name": "Михаил Николаевич Григорьев",
"affiliation": [],
"nameIdentifiers": []
},
{
"name": "Татьяна Сергеевна Михайлова",
"affiliation": [],
"nameIdentifiers": []
}
],
"titles": [
{
"title": "Способ электрохимического осаждения кремний-углеродных пленок на электропроводящие материалы"
}
],
"publisher": {
"name": "Южный федеральный университет"
},
"container": {},
"subjects": [
{
"subject": "109999 Technology not elsewhere classified",
"subjectScheme": "FOR"
},
{
"subject": "FOS: Other engineering and technologies",
"schemeUri": "http://www.oecd.org/science/inno/38235147.pdf",
"subjectScheme": "Fields of Science and Technology (FOS)"
},
{
"subject": "FOS: Other engineering and technologies",
"subjectScheme": "Fields of Science and Technology (FOS)"
},
{
"subject": "39999 Chemical Sciences not elsewhere classified",
"subjectScheme": "FOR"
},
{
"subject": "FOS: Chemical sciences",
"schemeUri": "http://www.oecd.org/science/inno/38235147.pdf",
"subjectScheme": "Fields of Science and Technology (FOS)"
},
{
"subject": "FOS: Chemical sciences",
"subjectScheme": "Fields of Science and Technology (FOS)"
}
],
"contributors": [],
"dates": [
{
"date": "2020-09-12",
"dateType": "Created"
},
{
"date": "2020-09-12",
"dateType": "Updated"
},
{
"date": "2020",
"dateType": "Issued"
}
],
"publicationYear": 2020,
"identifiers": [],
"sizes": [
"531931 Bytes"
],
"formats": [],
"rightsList": [
{
"rights": "Creative Commons Attribution 4.0 International",
"rightsUri": "https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/legalcode",
"schemeUri": "https://spdx.org/licenses/",
"rightsIdentifier": "cc-by-4.0",
"rightsIdentifierScheme": "SPDX"
}
],
"descriptions": [
{
"description": "Способ электрохимического осаждения кремний-углеродных пленок на электропроводящие материалы, включающий осаждение кремний-углеродной пленки из органического кремний и углеродсодержащего прекурсора электрохимическим методом, отличающийся тем, что кремний-углеродную пленку формируют электроосаждением из прекурсора, состоящего из гексаметилдисилазана в метиловом или этиловом спирте, на электропроводящую подложку, расположенную на катоде, на который относительно анода подают напряжение до 600 В с плотностью тока до 70 мА/см2, а расстояние между катодом и анодом устанавливают до 1 см.
Изобретение относится к области гальванотехники и может быть использовано в области микроэлектроники для создания устройств, в частности автоэмиссионных электродов, ионисторов, газовых сенсоров. Способ включает осаждение кремний-углеродной пленки из органического кремний и углеродсодержащего прекурсора электрохимическим методом, при этом кремний-углеродную пленку формируют электроосаждением из прекурсора, состоящего из гексаметилдисилазана в метиловом или этиловом спирте, на электропроводящую подложку, расположенную на катоде, на который относительно анода подают напряжение до 600 В с плотностью тока до 70 мА/см2, а расстояние между катодом и анодом устанавливают до 1 см. Технический результат: получение кремний-углеродных пленок, имеющих фазу карбида кремния SiC и обладающих химической и механической стойкостью на любых электропроводящих материалах. Относится к области технологии тонкопленочной микроэлектроники и гальванических покрытий, может быть использовано для создания различных микроэлектронных устройств: автоэмиссионные электроды, ионисторы, газовые сенсоры, - а также для получения химически и механически стойких покрытий.
",
"descriptionType": "Abstract"
}
],
"geoLocations": [],
"fundingReferences": [],
"relatedIdentifiers": [],
"schemaVersion": "http://datacite.org/schema/kernel-4",
"providerId": "syjt",
"clientId": "figshare.sfedu",
"agency": "datacite",
"state": "findable"
}